Minijaturne vakuumske pumpe, koje se često nazivaju malim vakuumskim pumpama zbog svoje male veličine, definirane su na sljedeći način: minijaturna vakuumska pumpa ima jedan ulaz i jedan izlaz, sposobna je kontinuirano stvarati vakuum ili negativni tlak na ulazu i lagani pozitivan tlak na izlazu; radni medij je prvenstveno plin, a radi se o kompaktnom instrumentu.
Spajanjem zapečaćenog spremnika (u početku pri atmosferskom tlaku od 100 kPa) na minijaturnu vakuumsku pumpu i kontinuiranim pražnjenjem, tlak plina unutar zapečaćenog spremnika s vremenom će pasti ispod atmosferskog tlaka, dosežući apsolutni tlak od 60 kPa. Nadalje, kroz posebna tehnološka poboljšanja, uz minijaturne vakuumske pumpe s jednom-funkcijom, mogu se razviti-dvonamjenske pumpe i pumpe za pražnjenje (tj. ispušni kraj može generirati relativno veliki pozitivan tlak), koje se koriste za pretlačenje, punjenje, prevladavanje otpora sustava itd. Postoje i jedinstvene vode-plin dvostruke-minijaturne vakuumske pumpe, koje se mogu koristiti u situacijama koje zahtijevaju-dugotrajni rad u praznom hodu ili na suho, za razliku od običnih pumpi za vodu koje se oštećuju u praznom hodu ili radu na suho.